СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
Модельный ряд
NEXT Fully automated AFM/STM system NEXT. NT-MDT – AFM-probes, atomic force microscope (AFM, HybriD Mode,  STM, SPM, RAMAN, SNOM) TITANIUM LIFE Атомно-силовой микроскоп для биомедицинских исследований Лайф (LIFE). НТ-МДТ – АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман) OPEN Опен (OPEN) – универсальный автоматизированный СЗМ.  НТ-МДТ – АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман) VEGA Automated large sample AFM VEGA
 



Атомно-Силовой Микроскоп для микроэлектроники.

Контроль пластин и полупроводниковых структур диаметром до 200 мм




 
 
Информационная брошюра  (7,2 Мб)

Основная информация

 

Предельное качество изображений благодаря использованию встроенной акусто- и виброизоляции, термостабилизации, лучшей в индустрии чувствительности оптической системы регистрации и уникальной конструкции системы сканирования зондом, позволяющей достигать атомного разрешения

В базовой конфигурации доступны 50+ АСМ методик, включая методику HybriD, что позволяет проводить ультрасовременные наномеханические, электрические и магнитные исследования

Интеллектуальный алгоритм ScanTronic™ для автоматической настройки параметров сканирования, позволяющий проводить совершенные измерения рельефа с использованием амплитудно-модуляционного метода независимо от опыта пользователя
 
Автоматизированное исследование массивов образцов по заданному пользователем сценарию, интеллектуальное ПО с простым интерфейсом и система базы данных для хранения полученных изображений

Контроль образцов с размерами до 200х200 мм и весом до 5 кг в любой точке поверхности с точностью позиционирования 1 мкм

 

 
 

Производительность


Автоматический анализ массивов образцов на площади 200×200 мм с предельной точностью позиционирования
 

 
  • Все обычные процедуры, такие как смена области сканирования и образца, юстировка системы регистрации, мягкий подвод и настройка параметров сканирования полностью автоматизированы

  • Диапазон позиционирования 200×200 мм с точностью 1 мкм и скоростью до 8 мм/с

  • База данных для хранения и удобного поиска полученных изображений

  • Интеллектуальное ПО для автоматизированных серийных измерений с возможностью настройки под требования пользователя

  • Загрузка координат сканирования

  • Сменные держатели для различных типов образцов и массивов образцов, возможность разработки держателя в соответствие с требованиями пользователя


 

Безупречная среда для измерений с высоким разрешением: встроенная акусто-и виброизоляция, система термостабилизации

 


Измерения с высоким разрешением требуют исключительного уровня акустической и виброизоляции рабочего объёма АСМ. Встроенный акустоизолирующий кожух и система активной виброзащиты делают АСМ VEGA идеальным для АСМ-измерений с предельным разрешением.

 


Термодрейф является существенной проблемой при длительных АСМ измерениях с высоким разрешением, особенно это относится к большеразмерным АСМ с массивными механическими частями. Вынос всех тепловыделяющих частей из рабочего объема и встроенная система термостабилизации с точностью с 0.05 oC позволяют достичь величины термодрейфа менее 10 нм/час.

 


 


Предельное отношение сигнал-шум для датчика регистрации изгибов кантилевера
 

 

Некогерентный суперлюминесцентный диод (СЛД) в качестве источника и специально разработанная оптическая схема позволяют достичь самого низкого значения уровня шума (25 фм/√Гц) оптической системы регистрации изгибов кантилевера (ОСР) среди коммерческих АСМ для большеразмерных образцов.


 

Низкошумящий широкопольный сканер с емкостными датчиками
 


Наш уникальный пьезосканер и управляющая электроника обеспечивают получение атомного разрешения при сохранении максимального поля сканирования 100×100 мкм.

 
Атомное разрешение решетки графита
 
Шум по Z

 

 
 

Наиболее продвинутый набор АСМ методик в базовой конфигурации


HybriD метод:
 

  • Количественные наномеханические измерения

  • Сохранение силовых кривых для каждой точки сканирования

  • Картирование проводимости и силовая микроскопия пьезоотклика мягких и хрупких образцов

  • Одновременные измерения с применением Кельвин-зондовой силовой микроскопии, силовой электростатической или магнитно-силовой микроскопии

Пептидные нанотрубки дифенилаланина: рельеф, адгезия, d2C/dZ2, фаза латерального пьезоотклика
(направление поляризации), 8x8 мкм

 

 

Многочастотные электрические измерения
 

  • Одно- и двухпроходная  амплитудная и фазово-модуляционная КЗСМ
  • Сканирующая емкостная силовая микроскопия (СЕСМ): одно- и двухпроходные измерения C/dZ, dC/dV
  • Одно- и двухпроходная  Электростатическая силовая микроскопия (ЭСМ)
     
Рельеф, поверхностный потенциал и dC/dZ самосборки молекул F14H20 на Si, 1.5x1.5  мкм



 

Магнитно-силовая микроскопия (МСМ) высокого разрешения

Новые АСМ зонды  серии CoFe Ethalon позволяют достичь МСМ разрешение лучше 30 нм и предельное отношение сигнал-шум. Наряду с 200х200 мм XY моторизованным координатным столом это делает VEGA превосходным инструментом для контроля запоминающих устройств.


Служебный сектор HDD,
10x10 мкм


Полный перечень АСМ методик, доступных в базовой конфигурации:
 

 

Контактная АСМ: Рельеф, Латеральная сила, Модуляция силы, Отображение сопротивления растекания

Амплитудно-модуляционная АСМ: Рельеф,  Фаза, Сигнал ОС

HybriD метод АСМ: Рельеф, модуль Юнга, Работа адгезии, Вязкоупругость, Проводимость, Силовая микроскопия пьезоотклика мягких и хрупких образцов, Сохранение силовых кривых для каждой точки сканирования

АСМ спектроскопия: Силовая, Амплитудная, Фазовая, I(V), I(Z)

Магнитно-силовая микроскопия: Двухпроходная DC/AC, Лифт DC/AC

Электростатическая силовая микроскопия: Однопроходная и двухпроходная Амплитудно-модуляционная, Частотно-модуляционная, dC/dZ отображение, dC/dV отображение

Кельвин-зондовая Силовая Микроскопия: Однопроходная и двухпроходная Амплитудно-модуляционная, Фазово-модуляционная

Силовая мискроскопия пьезоотклика и переключательная сректроскопия

Нанолитография:
 Вольтовая, Токовая, Силовая

 

 

Применения

 

Анализ дефектов с высоким разрешением и измерение шероховатости большеразмерных и массивных образцов




 

200x200 мм XY моторизованный координатный стол вместе с низкошумящей системой сканирования зондом и множеством уникальных АСМ зондов позволяют проводить анализ дефектов и шероховатости больших и массивных образцов с 30 пм разрешением по вертикали. Эта возможность теперь доступна всем пользователям благодаря автоматизированной настройке параметров сканирования.

 

Обычные АСМ зонды  


НТ-МДТ СИ вискерные АСМ зонды с аспектным соотношением >10:1
 

Изображение микропористой нитроцеллюлозной мембраны, полученное с применением НТ-МДТ СИ вискерных зондов с 12:1
аспектным соотношением, 30x30  мкм

 

Специализированные исследования в микроэлектронике, MEMS и хранении данных

 

Магнитные домены
в 1 ТБ HDD
 
Поверхностный потенциал в SRAM
 
Мощный набор методов характеризации поверхности, таких как Кельвин-зондовая, магнитно-силовая, емкостная микроскопия, картирование проводимости и др. делает АСМ VEGA незаменимым инструментом для задач исследования и контроля в современной индустрии микро- и наноэлектроники, MEMS, NEMS и хранении данных.

 

Рутинные измерения массивов образцов​​​​​​​ 


Механическая конструкция и управляющее ПО АСМ VEGA были разработаны для того, чтобы сделать АСМ измерения простыми и эффективными. Полностью автоматизированная работа, пользовательский интерфейс для серийных АСМ измерений, база данных полученных изображений и сменные держатели под любые типы образцов позволяют выбирать и просто исследовать любой набор объектов на площади до 200×200 мм.

 
Плазмиды ДНК на
слюде, 2x2  µm
PS-b-PMMA, 2.5x2.5  µm
     
 

Спецификация


 

Измерительные головки

АСМ головка для традиционных АСМ зондов. Возможно использование большинства коммерческих зондов.

Сканер

Тип: Пьезотрубчатый сканер с емкостными датчиками, сканирование зондом


Область сканирования, XYZ: 100×100×10 мкм или 2×2×0.2 мкм в режиме высокого разрешения


Обратная связь: доступна для XYZ направлений


Шум: <300 пм по XY и <30 пм по Z при замкнутой цепи ОС, <30 пм по XYZ при разомкнутой цепи ОС


Шум управляющей электроники < 5 мкВ/√Гц


Позиционирование зонд-образец

Тип: моторизованное позиционирование образца по XYZ


XYZ термодрейф: <0.2 нм/мин


Область перемещений: 200×200 мм по XY, 30 мм по Z


Точность позиционирования: 1 µм по XY, 0.2 µм по Z


Скорость позиционирования: 8 мм/сек по XY


Навигация: автоматизированное многократное сканирование по пользовательскому сценарию, по видеоизображению, 3D манипулятором 


Подвод: алгоритм интеллектуального мягкого подвода


Оптический датчик

Источник излучения: 850 нм СЛД с FC коннектором одномодового волокна, опционально LDM и SLD источники с разными длинами волн


Настройка оптической системы: автоматизированная


Шум датчика системы регистрации изгибов кантилевера: <25 фм/√Гц выше 50 кГц


Модуль видеонаблюдения

Тип: моторизованная фокусировка, цифровое увеличение и XY позиционирование. Калибровка по положению образца и лазера


Разрешение: 0,98 мкм


Поле зрения: до 1,2х0,8 мм (5 Мп)


Автофокусировка: на кантилевере, на образце


Аксессуары

Набор держателей образцов


150 V расширитель напряжения
Модуль внешнего доступа к сигналам

АСМ зонды: держатель АСМ зондов поддерживает большинство коммерческих зондов

 

Управляющая электроника и ПО

Число сигналов при сканировании: до 24


Обработка сигналов: размер буфера 512 Мбит, 3x 340 МГц FPGA, 320 MГц DSP


Синхронные детекторы: 2 аналоговых СД, 3 цифровых СД (поддержка многочастотных АСМ методик)


Генераторы: 6 32битных числовых генератора, 4 для СД

Напряжение смещения: +/- 10 В AC и DC (независимая подача смещения на образец и зонд), +/- 150 В AC и DC (опционально)


Самодиагностика: автоматическая


Автонастройка параметров сканирования: амплитуда раскачки, усиление синхронного детектора, рабочая точка цепи ОС, усиление цепи ОС, скорость сканирования, конфигурирования продвинутых методик


Возможности автоматизации: настройка оптической системы регистрации, многократное сканирование по заданному сценарию в пределах области 200х200 мм, наложение оптического и АСМ изображений, панорамный оптический обзор, автофокусировка на кантилевер, автофокусировка на образец


Инструменты программирования: язык Nova PowerScript, интеграция с LabView, интеграция с пользовательской базой данных


База данных полученных изображений


Интерфейс: USB

 

Изоляция прибора

Акустическая изоляция: встроенный акустический кожух


Виброизоляция: встроенный активный виброизолирующий стол

Термостабилизация: Встроенный температурный контроль с точностью 0.05 оС в акустическом кожухе




Базовый набор методик

Контактный метод: Рельеф, Латеральная сила, Силовая модуляция, Ток растекания, Контактная резонансая микроскопия
Амплитудно-модуляционный метод: Рельеф, Отображение фазы, Одно- и двухпроходная Кельвин-зондовая силовая микроскопия с фазовой и амплитудной модуляцией, Двухпроходная и Покадровая Магнитносиловая микроскопия, Одно- и двухпроходная Электростатическая силовая микроскопия, Одно- и двухпроходная  dC/dZ и dC/dV микроскопии
HybriD метод: Рельеф, Модуль Юнга, Адгезия, Работа адгезии, Проводимость, Пьезоотклик, Вязкоупругость, Сохранение силовых кривых для каждой точки сканирования, Кельвин-зондовая силовая микроскопия с фазовой и амплитудной модуляцией, Магнитно-силовая микроскопия, Электростатическая  силовая микроскопия, Сканирующая емкостная силовая микроскопия (dC/dZ, dC/dV)
Нанолитография: Вольтовая, Токовая, Силовая (Векторные и растровые)
Спектроскопия: Сила-, Амплитуда-, Фаза-, Частота-, Ток-расстояние,  I(V), Пьезоимпульсная, Пользовательские методики

Размеры:

Ш×Г×В: 810×610×1450 мм
 
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI