TITANIUM
АСМ Раман
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
Модельный ряд
ИНТЕГРА Прима ИНТЕГРА Прима (NTEGRA Prima) – модульный СЗМ комплекс. НТ-МДТ - АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, HybriD Mode, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман) ИНТЕГРА Аура ИНТЕГРА Аура (NTEGRA Aura) – модульный АСМ/МСМ. НТ-МДТ - АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, HybriD Mode, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман)


 

ИНТЕГРА Аура

 
АСМ для работы в условиях контролируемой
атмосферы, низкого вакуума,
внешних магнитных полей
ИНТЕГРА Аура (NTEGRA Aura) – модульный АСМ/МСМ. НТ-МДТ - АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, HybriD Mode, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман), высоковакуумное и сверхвысоковакуумное нанотехнологическое оборудование (Нанофаб)
Каталог ИНТЕГРА (5.6 Мб)

Основная информация

ИНТЕГРА Аура - НаноЛаборатория, специально созданная для работы в условиях контролируемой атмосферы или низкого вакуума.

ИНТЕГРА Аура разработана для осуществления с помощью методов высокоточных АСМ, ЭСМ и МСМ измерений, а также измерений адгезионных сил в условиях контролируемой атмосферы или низкого вакуума. Вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности колебаний кантилевера, достигается уже через 1 минуту после начала работы.
 

Применения

НаноЛабораторя Аура II идеально подходит для исследований, в которых особенно необходимы высокая чувствительность, надежность и достоверность результатов измерений. И находит применение в следующих областях:

  • Полимеры
  • Органические Пленки
  • Запоминающие среды
  • Нанообработка
  • Материаловедение
  • Магнитные Материалы
  • Наноматериалы и наноструктуры
  • Полупроводники

Интересные результаты,  полученные  Olga Kazakova на графене в различных условиях представлены на сайте NPL.
 

   
         
Магнитный жесткий диск.
Изображение рельефа  5x5 мкм
  Магнитный жесткий диск.
МСМ изображение 5x5 мкм
  Магнитный жесткий диск.
МСМ изображение 1.5x1.5 мкм
 

Спецификация

СЗМ методы

АСМ (контактная + прерывисто-контактная)/ HybriDTM метод/ Латерально-силовая микроскопия/ Силовая модуляционная микроскопия/ Магнитно-силовая микроскопия/ Электростатическая силовая микроскопия/ Сканирующая емкостная микроскопия/ Кельвин-зондовая силовая микроскопия/ Силовая микроскопия пьезоотклика/ Отображение сопротивления растекания/ СТМ/ Наносклерометрия/ Литография: АСМ (Силовая и Токовая), CTM
 

Технические характеристики
 
Тип сканирования
Сканирование образцом Сканирование зондом*
Размер образца
Вплоть до 40 мм в диаметре, 
вплоть до 15 мм в высоту
Вплоть до 100 мм в диаметре, 
вплоть до 15 мм в высоту
Вес образца
до 100 г
до 300 г
XY позиционирование образца
5x5 мм
Разрешение позиционирования
разрешение - 5 мкм
минимальное перемещение - 2 мкм
Поле сканирования
100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм
100x100x10 мкм
50x50x5 мкм
вплоть до 150x150x15 мкм**(DualScanTM mode)
Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи)
0.1%
0.15%
Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц)
С датчиками
0.04 нм (типично),
 0.06 нм
0.06 нм (типично),
 0.07 нм
Без датчиков
0.03 нм
0.05 нм
Уровень шума, XY***
(СКВ в полосе 200 Гц)
С датчиками
0.2 нм (типично),
 0.3 нм (XY 100 мкм)
0.1 нм (типично),
 0.2 нм
Без датчиков
0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм)
0.01 нм 
Система видеонаблюдения
Оптическое разрешение
1 мкм
3 мкм
Поле зрения
4.5-0.4 мм
2.0-0.4 мм
Непрерывное увеличение
возможно
возможно
Термоконтроль
 
Диапазон
От КТ до +150 oC
Стабильность
± 0.005 oC (типично), ± 0.01 oC
Вакуумная система
Давление
10-2 Тор
 
Виброизоляция
 
Активная
 0.7-1000 Гц
Пассивная
выше 1 кГц

* Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
*** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.
 
 

Контакты

Для получения дополнительной информации заполните специальную форму.

 
 
 
Copyright © 1998 - 2016, NT-MDT