TITANIUM
АСМ Раман
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
Модельный ряд
ИНТЕГРА Прима ИНТЕГРА Прима (NTEGRA Prima) – модульный СЗМ комплекс. НТ-МДТ - АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, HybriD Mode, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман) ИНТЕГРА Аура ИНТЕГРА Аура (NTEGRA Aura) – модульный АСМ/МСМ. НТ-МДТ - АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, HybriD Mode, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман)


 

ИНТЕГРА Прима


Поддерживает все основные методики АСМ и СТМ.
Может быть сконфигурирована для проведения
узкоспециализированных исследований.
ИНТЕГРА Прима (NTEGRA Prima) – модульный СЗМ комплекс. НТ-МДТ - АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, HybriD Mode, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман), высоковакуумное и сверхвысоковакуумное нанотехнологическое оборудование (Нанофаб)
Каталог ИНТЕГРА (5.6 Мб)

Основная информация

ИНТЕГРА Прима – НаноЛаборатория, поддерживающая все основные методики АСМ и СТМ. Может быть сконфигурирована для проведения узкоспециализированных исследований.

ИНТЕГРА Прима — НаноЛаборатория, созданная для решения широкого спектра задач в области атомно-силовой микроскопии (АСМ), предусматривает возможность изучения физических и химических свойства поверхности образца с большой точностью и высоким разрешением. Управляющая электроника нового поколения позволяет работать с высокой скоростью сканирования.

Применения

НаноЛабораторя ИНТЕГРА Прима помогает решить широкий спектр задач. Области применения ИНТЕГРА Прима охватывают практически все направления современной науки и техники: 

  • Биология
  • Нанобиотехнология
  • Материаловедение
  • Магнитные Материалы
  • Наноматериалы и наноструктуры
  •  Полупроводники
  •  Полимеры
  •  Органические Пленки
  •  Запоминающие среды
  •  Нанообработка
         
   
         
Моноатомные ступени на кремнии (111).
Высота ступени 0,31 нм.
Размер скана 7x7 мкм.
   
АСМ изображение кратера со стороной 5 мкм.
   Тестовая решетка. Частота сканирования 40 Гц.
Размер скана 17 мкм/256 строк.
 

Спецификация

СЗМ методы
 

На воздухе и в жидкости:
АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая)
 

Только на воздухе:
СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Силовая, Токовая), СТМ/
 

Технические характеристики
Тип сканирования
Сканирование образцом Сканирование зондом*
Размер образца До 40 мм в диаметре, 
до 15 мм в высоту
До 100 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту
Вес образца До 100 г До 300 г
XY позиционирование образца 5x5 мм
Разрешение позиционирования разрешение - 5 мкм
минимальное перемещение - 2 мкм
Поле сканирования 100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм
не более 1x1x1 мкм
100x100x10 мкм
50x50x5 мкм
До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM)
Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи)
0.1% 0.15%
Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц)
С датчиками 0.04 нм (типично),
0.06 нм
0.06 нм (типично),
0.07 нм
Без датчиков 0.03 нм 0.05 нм
Уровень шума, XY***
(СКВ в полосе 200 Гц)
С датчиками 0.2 нм (типично),
0.3 нм (XY 100 мкм)
0.1 нм (типично),
0.2 нм (XY 50 мкм)
Без датчиков 0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм)
0.01 нм (XY 50 мкм),
Ошибка измерения линейных размеров
(с датчиками)
± 0.5% ± 1.2%
Система видеонаблюдения Оптическое разрешение 1 мкм
(0.4 мкм по требованию, NA 0.7)****
3 мкм
Поле зрения 4.5-0.4 мм 2.0-0.4 мм
Непрерывный зум возможно возможно
Виброизоляция Активная  0.7-1000 Гц
Пассивная выше 1 кГц


* Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
*** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.
**** По требованию заказчика возможно дополнительно установить оптическую систему с высоким разрешением.

 

Контакты

Для получения дополнительной информации заполните специальную форму.

 
 
 
Copyright © 1998 - 2016, NT-MDT