TITANIUM
АСМ Раман
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
Модельный ряд
НАНОЭДЮКАТОР II НАНОЭДЮКАТОР II – учебный сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ, АСМ, СТМ) для преподавания основ зондовой микроскопии и нанотехнологии СОЛВЕР Пайп СОЛВЕР Пайп - атомно-силовой микроскоп для неразрушающей диагностики  конструкционных материалов
 

СЗМ в образовании



Учебный сканирующий зондовый
микроскоп для школьников,
кадетов, студентов и курсантов



 
 
Общий обзор Технические характеристики Партнеры Скачать Аксессуары Контакты
 
Методики Атомной силовой микроскопии

Контактная АСМ
Метод постоянной высоты
Метод постоянной силы
Контактный метод рассогласования
Метод латеральных сил
Отображение сопротивления растекания
Метод модуляции силы
Силовая микроскопия пьезоэлектрического отклика

Амплитудно-модуляционная АСМ
«Полуконтактный» метод
Метод отображения фазы
«Полуконтактный» метод рассогласования
Бесконтактный метод

Электростатическая АСМ
Контактная ЭСМ
ЭСМ
Сканирующая емкостная микроскопия
Кельвин зондовая микроскопия

Магнитная АСМ
Статическая МСМ
Динамическая МСМ
Диссипативная силовая микроскопия
АСМ спектроскопия
Силовая спектроскопия
Отображение адгезионных сил
Амплитудная спектроскопия
Фазовая спектроскопия
Частотная спектроскопия
Резонансная спектроскопия

СТМ методики
Метод постоянного тока
Метод постоянной высоты
Отображение работы выхода
Отображение плотности состояний
I(z) Спектроскопия
I(V) Спектроскопия

Литография
АСМ анодно-окислительная литография
СТМ литография
АСМ литография - гравировка
АСМ литография - чеканка

Методики HybriD

 

Сканер 100 x 100 x 12 мкм с датчиками обратной связи, 3x3x3 мкм без датчиков обратной связи
АСМ разрешение 0.01 нм
Контролируемые условия Измерения на воздухе и в жидкости
Комбинированные оптические системы Встроенная 100-кратная оптическая USB система.
Внешняя 500x оптическая система
Конструкция Настольный микроскоп, дружественный интерфейс и защита от случайных поломок

Сканер

Поле сканирования Режим высокого напряжения: 100x100x12 мкм.
Режим низкого напряжения: 3x3x3 мкм.
Тип сканера Метрологический пьезокерамический XYZ сканер с сенсорами обратной связи.
Тип сенсоров XYZ – сверхбыстрые емкостные датчики.
Шум сенсоров Низкошумящие XY сенсоры: < 0.3 нм.
Низкошумящие Z сенсоры: < 0.03 нм.
Линейность сенсоров Метрологические XY сенсоры: < 0.1%
Метрологические Z сенсоры: < 0.1 %
Общие параметры сканера 100x100x12 мкм с сенсорами. Разрешение: XY -0.3 нм, Z – 0.03 нм. Линейность: XY - < 0.1%, Z - < 0.1%.
3x3x3 мкм без сенсоров. Разрешение: XY -0.05 нм, Z – 0.01 нм.

Образец

Диапазон позиционирования 12 мм.
Разрешение позиционирования 1.5 мкм.
Размер образца до 1,5” X 1,5” X 1/2”,   35x35x12 мм.
Вес образца до 100 г.
Тип системы подвода Z – шаговый двигатель
Размер шага двигателя 230 нм.
Скорость подвода 10 мм в мин.
Алгоритм интеллектуального подвода Встроенно в ПО (гарантированно зонд не касается
поверхности при подводе)

Сканирующие головки

АСМ головка для Si зондов Доступна в спецификации . Все коммерческие зонды могут быть использованы
Тип детектирования Лазер- фотодиод
Держатель зонда Держатель для измерений на воздухе и держатель для измерений в жидкости.
Тип установки головки Кинематическая установка. Точность установки 150 нм (снять/поставить).
СТМ АСМ головки для проволочных зондов Доступна в спецификации.Вольфрамовые зонды для АСМ измерений (низкая стоимость экспериментов). Pt|Ir проволока для СТМ.
Тип детектирования Пьезо для АСМ экспериментов.
Держатели зондов Для работы на воздухе и для работы в жидкости.


Контроллеры

Цифровой профессиональный контроллер.

Количество изображений снимаемых за один раз до 16 шт.
Число точек в изображении До 8Kx8K
АЦП 500 КГц 16-бит АЦП
12 каналов (5 каналов с программно управляемым коэффициентом усилителей 1,10,100,1000)
Индивидуальный фильтр на каждом канале.
Цифровой процессор С плавающей точкой 320 МГц DSP
Цифровая обратная связь Да 6 Каналов
ЦАП: 4 композитных ЦАПа (3x16 бит) для X,Y,Z, Сигнала смещения на образце
2 16-бит ЦАП для пользовательских сигналов
Контроль напряжения на XYZ сканере Выход высокого напряжения: X, -X, Y, -Y, Z, -Z на -150 В +150 В
Выход низкого напряжения XY ± 10 В
XY С.КВ шум  в полосе 1000 Гц 0.3 мд С.КВ
Z С.КВ шум в полосе 1000 Гц 0.3 мд С.КВ
XY полоса пропускания 4 КГц (Режим низкого напряжения – 10 КГц)
Z полоса пропускания 9 КГц
Максимальный ток на  XY усилителях 1.5 мА
Максимальный ток на Z усилителях 8 мА
Интеграционная демодуляция на X,Y,Z емкостные сенсоры Да
Мода открытой/ закрытой обратной связи на X,Y датчиках Да
Диапазон настроек резонансных частот 5 МГц
Полоса пропускания системы детектирования 170 Гц-5 МГц
Полоса пропускания системы детектирования в режиме латеральных сил 170 Гц -5 МГц
Полоса пропускания системы детектирования двух дополнительных каналов 170 Гц -5 МГц
Напряжение смещения ± 10 В в полосе пропускания 0 – 5 МГц
Модуляционные сигналы На зонд (внешний выход);
На сигнал высокого напряжения X,Y, Z каналов (включая режим низкого напряжения);
Напряжение смещения;
Генерации для модуляции, доступные пользователям 2 шт,  0-5 МГц, 0.1 Гц разрешение
Контроллер шаговых двигателей Два 16-бит  ЦАП, 20 В диапазон, максимальный ток 130 мA
Дополнительные цифровые входы/выходы 6
Дополнительные цифровые выходы 1
I2C шина Да
  Макроязык
Максимальная длина кабеля
Компьютерный  интерфейс USB 2.0
Напряжение питания 110/220 В
Потребление питания ≤ 110 Вт


Интерфейс оператора


Система наведения лазера


Резонанс


Подвод


Сканирование


Силовые кривые


Литография


Вспомогательные элементы


Программа обработки изображений


Управление данными


Вспомогательные опции


Обработка изображений


Анализ данных

 

 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI