TITANIUM
АСМ Раман
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Новости

НАНОФАБ 25 - следующее поколение нанотехнологических платформ

02.07.2009

Компания НТ-МДТ разработала следующее поколение нанотехнологических платформ - уникальную сверхвысоковакуумную модульную платформу для наноэлектроники НАНОФАБ 25.
Этот аналитико-технологический комплекс, связанный общей транспортной системой, на сегодняшний день включает  в свой состав, помимо сверхвысоковакуумного робота-раздатчика, модуль плазмохимического осаждения из газовой фазы (модуль ПХГФО) и модуль электронно-ионной спектроскопии (модуль ЭИС).
НАНОФАБ 25 предоставляет возможность для модификации и исследования подложек диаметром до 25 мм, что существенно уменьшает габариты,облегчая монтаж и позволяя разместить установку практически в любой лаборатории. Также именно благодаря малым размерам конструкции можно добиваться высокой однородности температуры при нагреве или охлаждении образца.
Установка была успешно запущена и откалибрована в Санкт-Петербургском государственном политехническом университете на факультете технологии и исследования материалов (ФТИМ).

 

 

 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI