СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Новости

Лекции профессора В.А.Быкова в ОЦ "Сириус": сканирующая зондовая микроскопия

19.07.2017

В ОЦ "Сириус" прошли лекции и встречи в тесном кругу со школьниками направления "Нанотехнологии" основателя и генерального директора компании НТ - МДТ СИ (в настоящий момент - почетный президент группы компаний НТ-МДТ Спектрум Инструментс), профессора МФТИ, д.т.н. В.А.Быкова. Предлагаем вашему вниманию краткий фоторепортаж и иллюстративные материалы лекции. (По материалам сайта Нанометр)
 

Сканирующая зондовая микроскопия зародилась в 1966 году в группе национального института стандартов США (Рассел Янг) и начала развиваться как один из основных методов исследования наноструктур первоначально группой исследователей швейцарского отделения компании IBM, нобелевских лауреатов 1986 года, Хельмута Биннига и Генриха Рорера. Развитие метода стало возможным с появлением персональных компьютеров, как систем управления приборами, сбора и обработки результатов.

Первой исключительно важной, ключевой инновацией, предложенной группой Рассела Янга, стало использование пьезоэлектрической керамики для осуществления взаимных перемещений острия и образца друг относительно друга.

Г. Бинниг и Г. Рорер показали, что при помощи прибора, названного ими сканирующим туннельным микроскопом, принципиальная схема которого подобна Топографинеру Янга, позволяет получать изображения отдельных атомов. Для управления прибором и обработки результатов начали использоваться персональные компьютеры. Прогресс в возможностях приборов и до сегодняшнего дня определяется мощностью используемых компьютеров. В 1986 году этой же группой было предложено использование трубчатого пьезокерамического сканера. Для регистрации рельефа поверхности было предложено использовать гибкие балки с острой иглой на незакрепленном конце – кантилеверы, а приборы для регистрации рельефа были названы атомно-силовыми микроскопами (АСМ). В АСМ Биннига, Квайта и Гербера использовался туннельный датчик для регистрации нормального перемещения кантилевера, что крайне неудобно. Мощной инновацией, сделавшей АСМ реальностью, стала изобретенная Аммером и Майером оптико-позиционная схема для регистрации изменения углов наклона кантилевера, что при использовании в качестве регистрирующего элемента четырех - секционного фотодиода позволяет регистрировать как нормальные, так и латеральные силы взаимодействия зонда и исследуемой поверхности образца.

Инновация, предотвращающая действие капиллярного эффекта, рожденная в конце 86 года, была предложена как принципиальная возможность Биннигом, ее реальные возможности показаны группой Ducker W.A., Cook R.F., Clarke D.R. и интегрирована в первые промышленные атомно-силовые микроскопы Верджилом Элингом под названием «теппинг» или полуконтактной моды.

В 1987 году группой исследователей было предложено изготавливать кантилеверы с использованием арсенала кремниевой технологии, где были уже разработаны приемы селективного травления как «канавок», так и острий с углом при вершине, определяемой свойствами кристалла. Толщину балок можно было задавать либо толщиной покрытия, либо глубиной легирования бором или фосфором. Возможность изготавливать кантилеверы методами «групповых» технологий микроэлектроники сделало их доступным расходным материалом и обеспечило возможность широкого распространения метода.

В конце восьмидесятых – начале девяностых годов ХХ века была показана возможность регистрации при помощи методов СЗМ (сканирующей зондовой микроскопии) ряда физических свойств поверхностей в различных условиях – от сверхвысокого вакуума – до исследований на границе раздела твердое тело – жидкость, методов модификации поверхности – т.н. СЗМ литографии, которые в настоящее время интегрированы в большинство СЗМ под несколько разными названиями, что не меняет физической сущности методов.

В конце 80-х годов работы по созданию сканирующих зондовых микроскопов стартовали и в СССР. Была организована корпорация МДТ, в которой и были начаты работы по созданию сканирующих зондовых микроскопов с возможностями литографов, на которых можно было бы проводить как исследования, так и модификацию свойств молекулярных структур, в том числе и ЛБ-пленок.

К 1995 году были созданы и атомно-силовые микроскопы, а к 1997 – многомодовые приборы, на которых можно было проводить комплексные исследования поверхностных структур, в том числе и ЛБ-пленок не разрушая их в процессе исследования.

К настоящему времени сканирующая зондовая микроскопия вошла в состав классических методов исследования наноструктур и широко используется для качественной оценки физико-химических свойств и геометрических параметров поверхностей. Тем не менее, до сегодняшнего дня СЗМ относится к числу эксклюзивных методов, требующих как для получения данных, так и для их интерпретации специальных знаний и навыков, что сдерживает широкое распространение метода.

Кроме топографии, сканирующие зондовые микроскопы позволяют измерять целый ряд физических свойств:

  • распределение поверхностного электрического потенциала;
  • распределение поверхностной проводимости;
  • распределение электрической емкости системы зонд-поверхность С (x,y), а также dC/dz, dC/dV;
  • распределение магнитных сил в системе зонд с заданной намагниченностью - поверхность;
  • распределение пьезо-электрических свойств;
  • распределение теплопроводности;
  • распределение механических свойств (модуля Юнга, твердости);
  • распределение адгезионных свойств.

Измерения можно производить на воздухе, а газовой атмосфере заданного состава, в жидкости, в низком, высоком,

СЗМ в системе школьного и вузовского образования

Для развития современных технологий исключительно важной задачей является подготовка специалистов. Это процесс необходимо начинать со школьной скамьи. Видеть и иметь возможность активно воздействовать на молекулярные структуры – это резко меняет и усиливает глубину понимания физики, химии, биологии. На рис. 6 приведена фотография и возможности последнего варианта прибора НАНОЭДЬЮКАТОР, которым в настоящее время оборудованы десятки учебных классов России и мира. Этот прибор вошел в число лучших разработок мира по версии журнала Research & Developments в 2011 году.

Следует отметить, что сканирующие зондовые микроскопы – это приборы весьма чувствительные к внешним акустическим помехам, перепадам температуры, изменению влажности, что приводит к дрейфам зонда относительно образца, не контролируемым смещениям, сбоям во время сканирования. Для минимизации этих факторов необходимо эксплуатировать приборы внутри акусто - защищенных боксов, оснащенных системой активной или пассивной виброзащиты, системой поддержания температуры и влажности высокой точности. Обеспечение всех этих условий в настоящее время не является сверхсложной и дорогостоящей задачей и решена для всего ряда сканирующих зондовых микроскопов НТ-МДТ, обеспечивая дрейф менее 10 нм/час, что позволяет получать атомарное разрешение даже при относительно малых частотах сканирования.

Мощное развитие получили комбайны сканирующих зондовых микроскопов и спектрометров, совмещающие методы высокоразрешающих измерений топографии и различных физических свойств поверхностных структур. Приборы позволяют получать информацию как о физических свойствах поверхностных структур, так и о качественном составе поверхности из данных люминесцентной спектроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния и ИК-спектроскопии высокого пространственного разрешения.

Последовательное инновационное развитие сканирующих зондовых микроскопов позволило перепозиционировать эти приборы, существенно снизить требования к пользователям от энтузиастов метода, до специалистов в зондовой микроскопии, а в настоящее время приборами последних разработок группы компаний NT-MDT Spectrum Instruments с успехом могут пользоваться и лаборанты, и инженеры для контроля технологических параметров процессов, и специалисты-материаловеды, цель которых получить хорошо интерпретируемую информацию о физических и физико-химических особенностях объекта.

Скачать pdf


Основатель и Генеральный Директор компании НТ - МДТ СИ (в настоящий момент - почетный президент группы
омпаний НТ-МДТ Спектрум Инструментс), профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков перед входом в Медицентр
Олимпийского парка перед своей лекцией.
 


Профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков перед входом в Медицентр Олимпийского парка перед своей лекцией.
 


Профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков на территории Полигонов ОЦ "Сириус".
 


Технолес. Ракетный двигатель. Торжество техники.
 


Профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков, заведующий лабораторикй нанотехнологий ОЦ "Сириус" в 2016 г.
Ю.Хрипунов и "Наноэдьюкатор".
 


Генеральный Директор компании НТ - МДТ СИ, профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков и "Наноэдьюкатор".
 


Профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков и коллектив лаборатории.
 


Профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков в коридорах Медиацентра ("Научного парка") перед лекцией.
 


Профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков в зале "Пушкин" Медиацентра ("Научного парка") перед лекцией.
 


Профессор МФТИ, д.т.н. В.А.Быков в зале "Пушкин" Медиацентра ("Научного парка") перед лекцией.
 


Школьники - слушатели.
 


Школьники - слушатели.
 


Школьники - слушатели.
 


Школьники - слушатели.
 


Кадр с лекции.
 


Кадр с лекции.
 


Разговор со школьниками после лекции.
 


Два лектора.
 


Кадр с лекции.
 


Кадр с лекции.
 


Кадр с лекции.
 


Кадр с лекции.
 


Неформльное общение со школьниками в тесном кругу - семинар по технопредпринимательству в "коворкинге" ОЦ "Сириуса"
(и как мерзкое слово "коворкинг" пролезло в наш могучий язык???)
 


Семинар.
 


Семинар.
 


Алфавит "Сириуса".

 

 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI