СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Пресс-релизы

НАНОФАБ 25 - следующее поколение нанотехнологических платформ

07.07.2009

Компания НТ-МДТ разработала следующее поколение нанотехнологических платформ - уникальную сверхвысоковакуумную модульную платформу НАНОФАБ 25. В комплектации установки учтены современные тенденции и потребности исследователей и производителей, работающих в высокотехнологичных областях.
Эта аналитико-технологическая платформа, связанная общей транспортной системой, на сегодняшний день включает  в комплекс, помимо сверхвысоковакуумного робота-раздатчика, модуль плазмохимического осаждения из газовой фазы (модуль ПХГФО) и модуль электронно-ионной спектроскопии (модуль ЭИС).  

НАНОФАБ 25 обладает не менее широким спектром возможностей, чем НАНОФАБ 100, при этом обладая рядом отличий. НАНОФАБ 25 предоставляет возможность для модификации и исследования подложек диаметром до 25 мм, что существенно уменьшает габариты, облегчая монтаж и позволяя разместить установку практически в любой лаборатории. Также, именно благодаря малым размерам конструкции, можно добиваться высокой однородности температуры при нагреве или охлаждении образца.
Сверхвысоковакуумный модуль ЭИС служит для анализа образцов методами рентгеновской (с монохроматизацией излучения на длинах волн AgKα и AlKα) и ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии, сканирующей Оже-спектроскопии, спектроскопии рассеяния ионов, предоставляя весь набор аналитических методов, необходимых для полноценного исследования.
Модуль ПХГФО предназначен для плазмохимического осаждения тонких пленок из газовой фазы, плазмохимического травления и очистки.  Также возможно производить нагрев образца до 650 °С ИК излучением, подавать напряжение смещения и проводить фотостимулированные процессы, воздействуя на широкий спектр материалов, используемых в микро- и наноэлектронике.
Установка была успешно запущена и откалибрована в Санкт-Петербургском государственном политехническом университете на факультете технологии и исследования материалов (ФТИМ).
НАНОФАБ 25 объединяет весь спектр инновационных технологий, необходимых для обеспечения успешного аналитико-технологического  процесса и создания новых промышленных материалов.
 

 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI