СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Пресс-релизы

НТ-МДТ выпустила на рынок новую систему Сканирующей Емкостной Микроскопии

12.05.2005

Компанией NT-MDT разработано уникальное устройство (находится в стадии патентования) для получения СЕМ изображений и изучения C-V и dC/dV-V характеристик полупроводниковых и сегнетоэлектрических образцов.

Благодаря разработанной специально для этой методики конструкции держателя зонда, влияние изменения паразитной емкости в процессе сканирования на получаемый емкостной контраст снижается на несколько порядков по сравнению со всеми имеющимися аналогами. Это, в свою очередь, позволяет легко проводить измерения как на планарных образцах, так и на сколах.

Чувствительность используемого емкостного датчика на уровне 0.1 аФ позволяет изучать распределение концентрации носителей с динамическим диапазоном более 5 порядков. 

В отличие от имеющихся аналогов, в которых для получения емкостного контраста используется метод модуляции емкости, предложенный нами метод компенсации паразитной емкости позволяет отказаться от использования СВЧ генератора и проводить емкостные измерения на частоте 10 МГц. Это существенно облегчает техническую сторону подготовки к измерениям. Наш метод позволяет также осуществлять C-V и dC/dV спектроскопические измерения. 

Устройство совместимо с приборами линий NTEGRA и Solver.

Результаты измерений.

 

 

 Рельеф поверхности тестовой структуры

Профиль сечения вдоль линии

 

 

 dC/dV изображение того же участка

 dC/dV профиль вдоль той же линии


Общий вид рабочего места измерительной системы
 

 

 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI