СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Полупроводники

Тестовая структура

Название: Тестовая структура
MDT-файл: test_structure.mdt (147,77 Кб)

Тестовая структура на основе решетки из полос SiO2 высотой 0,1 мкм с шагом 3 мкм на кремниевой подложке. Было проведено внедрение ионов бора с E=100 кэВ, отжиг и стравливание слоя SiO2. На полученной структуре получены изображения рельефа поверхности и изображение, полученное с применением контактной СЭМ.

Изображения предоставлено В. Поляковым, НТ-МДТ, Москва, Россия.

« Квантовые точки Интегральная схема »
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI