СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

2.1 АСМ кантилеверы

2.1.3 Отклонение под действием продольной силы

Определим величину и направление деформации под действием продольной силы  . Решение этой задачи позволит найти средний столбец тензора C (см. формулу (2) пункта 2.1.1).

(1)
(2)
(3)

Сила , действующая в направлении оси кантилевера, создает момент , вызывающий деформацию, которую назовем вертикальным изгибом y-типа (рис. 1).

Рис. 1.  Вертикальный изгиб y-типа.

Несмотря на внешнее сходство с вертикальным изгибом z-типа (см. пункт 2.1.2), в этом случае профиль деформации будем другим. Уравнение, описывающее изгиб y-типа, имеет следующий вид (срав. с (7) пункта 2.1.2):

(4)

Граничные же условия останутся прежними: and . Найти решение просто:

(5)

Таким образом, отклонение острия по вертикали при данном типе деформации составит

(6)

Сравнивая (6) и (3) и вынося в полученном выражении общий множитель c (см. (10) пункта 2.1.2), получим:

(7)
Угол отклонения конца балки будет равен: 
(8)
Из формулы (8) и геометрии вертикального изгиба y-типа (рис. 1) несложно найти отклонение острия зонда возникающее под действием :
(9)
Из (2), (7) и (9) легко получить:
(10)
Учитывая, что , заметим:
(11)

Наконец, запишем компоненты средней колонки матрицы (3) пункта 2.1.1. Из формул (6–8) можно получить

(12)
Так как под действием силы не происходит наклона верхней плоскости кантилевера в направлении то
(13)


Выводы.

 

  • ,  а также к появлению угла отклонения .

  • Под действием продольной отклоняющей силы возникает изгиб y-типа.
  • Для нахождения компонентов тензора обратной жесткости, соответствующих изгибу y-типа необходимо решить задачу статического изгиба балки, которая сводится к обыкновенному дифференциальному уравнению второго порядка.
  • Продольная сила приводит к отклонению острия не только в продольном, но и в вертикальном направлении
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI