СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Примеры применений (Архив)

Практические детали

Измерения контактной разности потенциалов и распределения падения внешнего напряжения.

    Подготовительные шаги для изучения скола гетероструктуры методом зонда Кельвина.

a) 50 мм сканер, оптическая система видеонаблюдения и x-y кординатный стол могут понадобится для удобных условий измерений. 

b) Образцы со свежеприготовленными сколами могут быть зажаты в миниатюрные тисочки или приклеены суперклеем с вертикальной стороне маленького брусочка. Можно использовать двусторонний скотч вместо клея, однако если линейные размеры образца меньше 1 мм, то использование скотча часто оказывается неэффективным средством.

c) Длинная сторона кантилевера должна быть перпендикулярна краю скола для облегчения поиска края области сканирования. Такое пространсттвенное расположение кантилевера и образца будет также оптимальным для уменьшения роли паразитной емкости, поскольку это позволяет иметь минимальную область перекрытия между поверхностями образца и кантилевера. 

d)  Перед подводом зонд должен быть размещен в центре области сканирования примерно в 15-20 мкм от края скола (для справки, при использовании оптической истемы видеонаблюдения, ширина кантилевера зондового датчика NSG11 составляет около 50 мкм). 

e) Когда край скола найден, прежде всего зонд отодвигается на несколько мкм открая, затем зонд отводится от образца (обратная связь отключается), микроскоп закрывается колпаком, и обратная связь включается снова.

f) Последовательность действий по настройке метода Кельвина (в соответствии с Руководством пользователя). 

g) Для оптимизации действия обратной свзи для измерений контактной разности потенциалов (КРП) мы можем порекомендовать найти диапазон измерений фазы (180 градусов) допускающий отрицательный коэффициент обратной связи, и установить сдвиг фазы в середине этого диапазона.


 

Конкретные параметры сканированного изображения можно найти в f8.opt, f9.opt и f8.mdt, f9.mdt. Высота подъема зонда на втором проходе также приводится в описаниях сканированных изображений.

Для выделения профиля падения напряжения использовались два набора данных: профиль высоты рельефа и профиль КРП (данные МЗК) полученные в равновесии, и такие же данные измеренные при некотром падении напряжения вдоль структуры.

Для улучшения разрешения профили могут быть усреднены вдоль направлений границ гетероструктуры. Используя данные рельефа мы отметили границы гетероструктуры на профилях КРП, затем согласовали и совместили профиль КРП с профилем КРП при некоторм смещении, и в заключение вычли первый профиль из второго для получения профиля падения напряжения. 

 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI