СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Примеры применений (Архив)

Практические детали

Получение рельефа. ZnSSe/GaAs лазерная структура.

Подготовительные шаги для изучения рельефа гетероструктуры на сколе:

a)  50 мм сканер, оптическая система видеонаблюдения и x-y кординатный стол могут понадобится для удобных условий измерений. 

b) Образцы со свежеприготовленными сколами могут быть зажаты в миниатюрные тисочки или приклеены суперклеем с вертикальной стороне маленького брусочка. Можно использовать двусторонний скотч вместо клея, однако если линейные размеры образца меньше 1 мм, то использование скотча часто оказывается неэффективным средством. 

c) Кантилевер должен быть параллелен или перпендикулярен краям скола для облегчения поиска края в области сканирования. 

d) Перед подводом зонд должен быть размещен в центре области сканирования примерно в 15-20 мкм от края скола (для справки, при использовании оптической истемы видеонаблюдения, ширина кантилевера зондового датчика NSG11 составляет около 50 мкм). 

e) Когда край скола найден, прежде всего зонд отодвигается на несколько мкм открая, затем зонд отводится от образца (обратная связь отключается), микроскоп закрывается колпаком, и обратная связь включается снова. 

Никаких особых рекомендаций по типу зондового датчика дать нельзя. Любые новые и хорошие контактные или бесконтактные зондовые датчики позволяют получить хорошие данные по рельефу на обычных атомно плоских сколах. Единственное требование заключается в неразрушении зонда при поиске края образца. 

Конкретные параметры сканированного изображения можно найти в  f1.opt и f1.mdt 
 

AСM изображения получены на приборе SPM P4 с NSG11 зондовыми датчиками.
Дополнительная информация о лазерных структурах была получена с использованием  Контактной ЭСМ, Метода Кельвина.
 

 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI