СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Принципы работы СЗМ

Контактная ЭСМ

 

   Download Flash (0,5 Mb)
   Download mp4 (1,2 Mb)
Как и в Бесконтактной ЭСМ в Контактной ЭСМ на кантилевер подается смещение
 
Vtip=Vdc + Vac sin(wt), где  Vac

напряжение возбуждения колебаний. Сканирование проводится в соответствии с обычным Методом Постоянной Силы с одновременным измерением электрических сил. Т.н. емкостная сила Fcap(z) между зондом и поверхностью, находящейся при потенциале Vs , равна
Fcap(z) =(1/2) (Vtip - Vs)2(dC/dz)

где C(z) является емкостью зонд-поверхность, зависящей от геометрии зонда, рельефа поверхности и расстояния зонд-поверхность. 
В Контактной ЭСМ регистрируется влияние первой гармоники Fcap(z) на колебания кантилевера.
Контактная ЭСМ может быть использована для исследований полупроводниковых структур. Ток, текущий через контактную область, увеличивает эти силы, но незначительно, т.к. обычно слой оксидов на острие и на поверхности образца тонкий (несколько нанометров).
В качестве примере представлены данные измерений GaAlAs гетероструктур. 

Ссылки
  1. Rev. Sci. Instr. 70, 1735 (1999).
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI