СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Принципы работы СЗМ

ЭСМ

 

   Download Flash (1,1 Mb)
   Download mp4 (2,6 Mb)
В общем случае Электростатическая Силовая Микроскопия (ЭСМ) может быть использована в нескольких вариантах, в зависимости от типа исследуемого образца и вида необходимой информации.

Наиболее распространена из них Бесконтактная ЭСМ, основанная на двухпроходной методике. На втором проходе кантилевер приводится в колебательное состояние на резонансной частоте, при этом кантилевер заземлен или находится при постоянном смещении  V.

Емкостная сила взаимодействия зонд-образец (или скорее ее производная) приводит к сдвигу резонансной частоты. Соответственно амплитуда колебаний кантилевера уменьшается и фаза его колебаний сдвигается [1]. При этом и амплитуда и фаза колебаний могут быть измерены и использованы для отображения распределение электрического потенциала по поверхности образца.

Этот метод ССМ обладает определенными преимуществами по сравнению с Методом Зонда Кельвина (МЗК).  Отображение отклонений амплитуды или фазы определяются емкостной зонд-образец силовой производной, т.е. второй производной емкости зонд-образец. В результате Бесконтактная ЭСМ приводит к более высокому разрешению поскольку отношение паразитной емкости конуса зонда и плоской части кантилевера к полезной емкости кончик зонда-образец минимизируется [2,3].

Ссылки
  1. J. Appl. Phys. 61, 4723 (1987). 
  2. Appl. Phys. Lett. 52, 1103 (1988). 
  3. Nanotechnology 12, 485 (2001).
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI