СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Принцип работы СЗМ

Сканирующая Емкостная Микроскопия

 

   Download Flash (1,4 Mb)
   Download mp4 (2,6 Mb)
Сканирующая Емкостная Микроскопия является разновидностью  Электро-силовой Микроскопии.  В общем случае [1] в ЭСМ на кантилевер подается смещение Vtip=Vdc + Vac sin(wt), где Vac ответственно за возбуждение колебаний. Сканирование проводится на некоторой высоте h над поверхностью образца в соответствии с рельефом, определенным на первом проходе с использованием Прерывисто-контактного Метода. Емкостная сила Fcap(z) взаимодействия между зондом и поверхностью образца, находящейся при потенциале Vs , равна

Fcap(z) =(1/2) (Vtip - Vs)2(dC/dz)

 

где C(z) – емкость зонд-образец, зависящая от геометрии зонда, рельефа поверхности и величины зазора зонд-образец z.
Вторая гармоника емкостной силы зависит только от (dC/dz) и Vac

Fcap2w(z) =(1/2)(dC/dz) Vac2sin(2wt)

и может быть использована для получения дополнительной информации, например, распределения поверхностной емкости по образцу. Для увеличения амплитуды колебаний на второй гармонике частота  w выбирается равной половине резонансной частоты кантилевера wr.

Ссылки

  1. Nanotechnology 12, 485 (2001). 
  2. Appl. Phys. Lett. 52, 1103 (1988). 
  3. J. Appl. Phys. 61, 4723 (1987).  
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI