TITANIUM
АСМ Раман
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Принцип работы СЗМ

Сканирующая Емкостная Микроскопия

 

   Download Flash (1,4 Mb)
   Download mp4 (2,6 Mb)
Сканирующая Емкостная Микроскопия является разновидностью  Электро-силовой Микроскопии.  В общем случае [1] в ЭСМ на кантилевер подается смещение Vtip=Vdc + Vac sin(wt), где Vac ответственно за возбуждение колебаний. Сканирование проводится на некоторой высоте h над поверхностью образца в соответствии с рельефом, определенным на первом проходе с использованием Прерывисто-контактного Метода. Емкостная сила Fcap(z) взаимодействия между зондом и поверхностью образца, находящейся при потенциале Vs , равна

Fcap(z) =(1/2) (Vtip - Vs)2(dC/dz)

 

где C(z) – емкость зонд-образец, зависящая от геометрии зонда, рельефа поверхности и величины зазора зонд-образец z.
Вторая гармоника емкостной силы зависит только от (dC/dz) и Vac

Fcap2w(z) =(1/2)(dC/dz) Vac2sin(2wt)

и может быть использована для получения дополнительной информации, например, распределения поверхностной емкости по образцу. Для увеличения амплитуды колебаний на второй гармонике частота  w выбирается равной половине резонансной частоты кантилевера wr.

Ссылки

  1. Nanotechnology 12, 485 (2001). 
  2. Appl. Phys. Lett. 52, 1103 (1988). 
  3. J. Appl. Phys. 61, 4723 (1987).  
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI