TITANIUM
АСМ Раман
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Принцип работы СЗМ

Отображение сопротивления растекания

 

   Download Flash (0,3 Mb)
   Download mp4 (0,7 Mb)
Отображение Сопротивления Растекания возможно при использовании проводящего зонда ССМ, находящегося в контакте с поверхностью образца [1].
К зонду  прикладывается напряжение смещение и проводятся измерения результирующего тока через образец в зависимости от положения зонда одновременно с получением данных о рельефе по Методу Постоянной Силы.

Как легко показать в предположении постоянного контактного сопротивления зонд-поверхность при заданном смещении величина измеряемого тока пропорциональна локальному сопротивлению исследуемого образца.

Отображение Сопротивления Растекания может быть также использовано и при анализе сложных структур, таких, например, как интегральные схемы.

Обзор современного состояния метода  Отображение Сопротивления Растекания представлен в [2]

Ссылки
  1. US Pat. 4992728.
  2. J. Vac. Sci. Techn. B, 20 (1), 471 (2002).
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI