СЗМ Раман Нано ИК системы
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 
 

Принципы работы СЗМ

Отображение сопротивления растекания

 

   Download Flash (0,3 Mb)
   Download mp4 (0,7 Mb)
Отображение Сопротивления Растекания возможно при использовании проводящего зонда ССМ, находящегося в контакте с поверхностью образца [1].
К зонду  прикладывается напряжение смещение и проводятся измерения результирующего тока через образец в зависимости от положения зонда одновременно с получением данных о рельефе по Методу Постоянной Силы.

Как легко показать в предположении постоянного контактного сопротивления зонд-поверхность при заданном смещении величина измеряемого тока пропорциональна локальному сопротивлению исследуемого образца.

Отображение Сопротивления Растекания может быть также использовано и при анализе сложных структур, таких, например, как интегральные схемы.

Обзор современного состояния метода  Отображение Сопротивления Растекания представлен в [2]

Ссылки
  1. US Pat. 4992728.
  2. J. Vac. Sci. Techn. B, 20 (1), 471 (2002).
 
 
Copyright © 2015 - 2017, NT-MDT SI