TITANIUM
АСМ Раман
Модульные СЗМ
Автоматизированные СЗМ
Специализированные СЗМ
 

 

Измерительные головки
 
Головка Revolution для Многозондовых Картриджей. Позволяет осуществлять замену кантилевера в автоматическом режиме.
Стандартная АСМ головка для традиционных кантилеверов.
Обеспечивает работу с большинством существующих кантилеверов.
Головка для АСМ измерений в жидкости
Головка для СТМ измерений


Сканер

Тип сканера: пьезотрубка с датчиками перемещения; сканирование образцом
Диапазон сканирования XYZ: 100×100×10 или
2×2×0.2 мкм в режиме пониженного напряжения
Датчики перемещения: доступны для всех осей XYZ
Шум: <300 пм для XY и <30 пм для Z (режим Closed Loop),
<30 пм для XYZ (режим Opened Loop)
Шум управляющего напряжения: < 5 мкВ√Гц


Система позиционирования зонд-образец

Способ позиционирования: моторизованная по XYZ
Температурный дрейф XYZ : <0.2 нм/мин
Диапазон перемещения: 5х5 мм по XY; 10 мм по Z
Навигация: сохранение места сканирования, навигация с помощью мыши по видеоизображению; совместимость с 3D-джойстиком; автоматизированное сканирование по нескольким участкам образца
Система подвода: интеллектуальный алгоритм мягкого подвода


Система оптического контроля
 

Тип: моторизованная система фокусировки, увеличения и перемещения по XY. Калибровка положения образца и лазерного луча по оптическому изображению.
Оптическое разрешение: 2 мкм
Поле зрения: до 2×2 мм (1 MPx); до 7×7мм с функцией панорамного оптического сканирования (50 MPx)
Авто-фокусировка: на образце; на кантилевере
Распознавание: положение кантилевера
Система увеличения: моторизованное непрерывное оптическое увеличение


Аксессуары
 

Головка для работы в жидкости: контактная АСМ, АМ-АСМ, метод HybriD, АСМ-спектроскопия
Головка для СТМ: режимы постоянной высоты и постоян-
ного тока, отображение потенциального барьера, отображение плотности состояний, спектроскопии I(v), I(z).
Головка для Наноиндентирования: склерометрия, индентирование, измерение кривых подвода. Диапазон измерений: 1-80 ГПа для твердости, 1-1000 ГПа для модуля упругости
Нагревательный столик
Модуль доступа к сигналам
+/-50 В расширитель диапазона напряжения смещения
АСМ зонды: широкий выбор традиционных кантилеверов
Многозондовые картриджи с 38 зондами различного типа
  Электроника и программное обеспечение
 
Число каналов сканирования: виртуально неограниченно. Более 16 независимых одновременно отображаемых сигналов.
Обработка сигналов: размер буфера - 512 Мб,
ФПГА- 3x 340 МГц; ДСП – 320 МГц.
Синхронные усилители: 2 аналоговых, 3 цифровых (поддержка многочастотных методов)
Генераторы: 6х32 бит цифровых генератора; 4 для синхронных детекторов
Напряжение смещения: +/- 10 В постоянное и переменное (возможность подачи напряжения на образец или зонд).
Опционально: расширение до +/- 50 В
Самодиагностика: система автоматической проверки контроллера
Максимальное число точек сканирования: 8000×8000
Автоматическая настройка параметров сканирования: амплитуды колебаний, коэффициент усиления синхронного усилителя, рабочей точки, усиления обратной связи скорости сканирования, конфигурации продвинутых методик
Автоматизация: настройка оптической системы лазер-фотодиод; сканирование больших площадей до 5х5 мм; сшивка сканов; наложение оптического и АСМ изображений; панорамное оптическое сканирование; сохранение места сканирования; автофокус на кантилевере; автофокус на образце
Средства программирования: макросы PowerScript;
интеграция с LabView

Оптический датчик

Длина волны: 850 нм
Настройка оптического датчика: автоматическая на воздухе и в жидкости
Шум оптического датчика:<25 фм/√Гц выше 100 кГц

Защита от внешних воздействий
 
Термостабилизация: контроль температуры в акустическом шкафу
Акустическая защита: шкаф акустической изоляции; встроенная моторизованная защитная дверца
Виброзащита: активный стол виброизоляции
Рутинное высокое разрешение: на воздухе и в жидкости

Базовый набор методик
 
Контактная АСМ: рельеф, отображение латеральных сил, модуляция силы, сопротивление растекания, микроскопия пьезоотклика, контактная резонансная микроскопия
 
Амплитудно-модулированная АСМ: рельеф, фазовый контраст, одно- и двухпроходная Кельвин-зондовая силовая микроскопия (фазово- и амплитудно-модулированная), двупроходная и «лифт» Магнитно-силовая микроскопия, двухпроходная и «лифт», электростатическая силовая микроскопия, одно- и двухпроходная, dC/dZ и dC/dV микроскопии.
 
Метод HybriD: рельеф, модули упругости, картирование сил адгезии, работа сил адгезии, ток, вязкоупругие свойства
 
Нанолитография: вольтовая, токовая, силовая (все векторные и растровые методы), а также Наноманипуляции
 
АСМ-спектроскопия: силовая, амплитудная, фазовая, частотная, ток-расстояние, пьезоотклик, пользовательские методы