Революционная разработка компании НТ-МДТ

15.04.2009
Тестовая решетка
Частота сканирования 40 Гц
Размер скана 17 мкм/256 строк

Новая перспективная разработка НТ-МДТ – универсальный цифровой контроллер, предназначенный для управления практически всеми типами производимых компанией СЗМ. Использование самых передовых технологий существенно увеличили производительность обработки данных. Повышение скорости оцифровки, расширение номенклатуры цифровых и аналоговых сигналов ввода-вывода расширили функциональные возможности устройства.

Алгоритм автоматической регулировки параметров обратной связи позволяет оптимизировать систему контроля сигналов, предоставляя возможность даже неопытному пользователю легко производить настройку.
При помощи системы ScanScaler™ возможно получение атомарного разрешение на 100 мкм сканере.
Скоростной режим сканирования (до 40 Гц) обеспечивается уникальным алгоритмом, представляющим собой улучшенный feedforward метод формирования сигнала Z-сканера с использованием ошибки рассогласования.

Новая технология превосходит стандартный feedforward метод как в скорости, так и в качестве получаемых изображений. Поскольку скорость сканирования – решающий фактор при исследовании объектов, время жизни которых мало либо в которых происходят значительные изменения за короткое время, то возможно изучение практически любого образца. Кроме того, благодаря улучшенному методу, зонд в гораздо меньшей степени воздействует на поверхность образца, что позволяет работать с мягкими, легко разрушаемыми объектами.
Высокое качество сканов и отличные результаты – всё это достигается посредством нового алгоритма.

Ниже приводятся сканы фрагментов микросхем, полученные в разных режимах сканирования.

Частота сканирования 12 Гц
Размер скана 50 мкм/256 строк
 
Частота сканирования 30 Гц
Размер скана 30 мкм/256 строк
 
Частота сканирования 30 Гц
Размер скана 30 мкм/512 строк
 
Частота сканирования 40 Гц
Размер скана 10 мкм/256 строк
 
Частота сканирования 15 Гц
Размер скана 17 мкм/512 строк
 
Частота сканирования 40 Гц
Размер скана 40 мкм/256 строк

Остались вопросы? Позвоните нам по телефону: +7-499-110-2050
или заполните форму обратной связи, и мы ответим на все интересующие Вас вопросы.