Сканирующая тепловая микроскопия (СТеМ) предназначена для одновременного получения изображений рельефа поверхности и распределения тепловых свойств наноразмерных объектов. Разработанный компанией НТ-МДТ модуль СТеМ позволяет визуализировать распределение температуры и теплопроводности по поверхности образца.

Модуль СТеМ включает в себя СТеМ вкладыш, блок измерения температуры, сборку СТеМ датчика и программный модуль СТеМ.

Зонды

Для получения СТеМ изображений необходимо использование зондов с терморезистором на кантилевере. СТеМ зонды компании НТ-МДТ обеспечивают латеральное разрешение отображения рельефа и теплопроводности на уровне 100 нм.

СТеМ зонды изготавливаются на основе оксида кремния (SiO2), при этом терморезистивный слой наносится на зонд таким образом, что в процессе сканирования с поверхностью образца контактирует часть слоя, находящаяся на острие. Изменения температуры острия зонда влияют на изменение величины термосопротивления, отслеживая котороые система регистрирует локальные температуру или теплопроводность образца.

Контроллер и программное обеспечение

Подключение блока измерения температуры к контроллеру осуществляется через стандартный разъем EXTENTION. Управление функцией СТеМ осуществляется с помощью программного модуля, интегрированного в основное программное обеспечение в качестве отдельного метода контактного режима сканирования.