ВЕГА

Применения

Постоянное уменьшение размеров элементной базы в микроэлектронике предъявляет ряд прин- ципиальных требований к контрольно-измерительной аппаратуре. В последние годы атомно-силовая микроскопия (АСМ) de facto стала неотъемлемой частью производственного цикла на ведущих зарубежных предприятиях микроэлектронной промышленности. Основываясь на опыте мировых лидеров высокотехнологичной индустрии, мы создали атомно-силовой микроскоп, который позволяет решать ключевые задачи в этой области.

Ключевые приложения

Контроль наношероховатости полупровод-никовых пластин, контроль морфологии микро- и наноструктур, масок и полупроводниковых пластин
Низкошумящая система сканирования и множество уникальных НТ‑МДТ СИ АСМ-зондов позволяют проводить измерения морфологии поверхности большеразмерных образцов с разрешением по вертикали 30 пм.

Исследование механических и адгезионных свойств масок в микро- и наномасштабе
Уникальный АСМ метод HybriD позволяет построение карт распределения количественных значений модуля Юнга и адгезии с пространственным разрешением до 10 нм.

Исследование качества проводящих слоёв
С использованием проводящего зонда в качестве электрода, АСМ ВЕГА обладает возможностью построения карт распределения проводимости с пространственным разрешением до 30 нм.

Исследование электромеханических свойств микроэлектромеханических систем (mems)
Метод силовой микроскопии пьезоотклика позволяет строить карты распределения доменной структуры пьезоэлектриков, вычислять пьезоэлектрические коэффициенты, а также исследовать динамические свойства MEMS.

Исследование и контроль магнитной структуры систем хранения данных
Возможность отображение доменной структуры с разрешением до 30 нм с использованием магнитно-силовой микроскопии делает АСМ уникальным инструментом для исследования и контроля производства различных типов магнитных запоминающих устройств.

Послойное исследование морфологии и электростатических свойств готовых изделий
АСМ ВЕГА оснащен самым передовым набором электростатических методов анализа поверхности, позволяющим картировать такие свойства, как диэлектрическая проницаемость, ёмкость, легирование, поверхностный потенциал, объемный заряд и т.д.

Поверхность элемента солнечной панели

Поверхностный потенциал SRAM

Поверхность поликремния

Магнитные домены HDD

Преимущества использования АСМ в производственном цикле

Использование АСМ позволяет проводить прямой неразрушающий контроль как морфологии микро- и наностуктур и фоторезистивных масок, так и распределение их электромагнитных, механических и химических свойств с высоким пространственным разрешением на уровне 10-20 нм. Кроме того, благодаря низкой, в сравнении с электронной микроскопией, стоимостью эксплуатации, повышается конкурентноспособность производителя за счёт значительного сокращения финансовых издержек.

Специальные требования, предъявляемые к АСМ в индустрии

1. Высокий уровень автоматизации
   Благодаря высокому уровню автоматизации, АСМ ВЕГА требует минимального участия оператора установки. Это значительно снижает требования к уровню квалификации персонала.
2. Надёжность
   В АСМ ВЕГА используются комплектующие с большим сроком наработки на отказ от ведущих мировых производителей. Тем не менее, в случае поломки оборудования, модульная конструкция позволяет производить быструю замену блоков, без отправки всей системы в ремонт. Высокий уровень сервиса является визитной карточкой НТ-МДТ СИ, что подтверждается отзывом множества пользователей со всего мира. Всё это в совокупности позволяет свести время простоя оборудования к минимуму.
3. Помехозащищённость
   Встроенные в АСМ ВЕГА системы активной виброизоляции и пассивной акустической защиты позволяют эксплуатировать комплекс в условиях, не оптимизированных под прецизионное оборудование. Уникальная система активного термостатирования позволяет сводить термические дрейфы до рекордно низких уровней.
4. Высокая производительность
   Система автоматизированного позиционирования позволяет производить поточные измерения массивов образцов размерами до 200х200 мм в полностью автоматическом режиме. Оптимизированные под быстрое сканирование электроника, измерительная головка и программное обеспечение повышают производительность АСМ ВЕГА по сравнению с лабораторными аналогами.
5. Соответствие метрологическим нормам
   Прецизионные датчики пьезосканера и координатного стола обеспечивают высокую точность позиционирования в микро- и наномасштабе. Поверка оборудования производится с использованием утвержденных линейных мер периода и высоты.
6. Соответствие среде эксплуатации
   Конструкция и материалы, используемые в АСМ ВЕГА, позволяют эксплуатировать систему в чистых помещениях.
7. Соответствие нормам электробезопасности
   Управляющая электроника соответствует нормам согласно Европейской декларации по электромагнитной безопасности (CE).