Технические характеристики
Тип сканирования
|
Скани- рование образцом |
Скани- рование зондом* |
Размер образца |
До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
До 100 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту |
Вес образца |
До 100 г |
До 300 г |
XY позиционирование образца |
5x5 мм |
Разрешение позиционирования |
разрешение - 5 мкм
минимальное перемещение - 2 мкм |
Поле сканирования |
100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм
не более 1x1x1 мкм |
100x100x10 мкм
50x50x5 мкм |
До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) |
Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи) |
≤0.1% |
≤0.15% |
Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками |
0.04 нм (типично),
0.06 нм |
0.06 нм (типично),
0.07 нм |
Без датчиков |
0.03 нм |
0.05 нм |
Уровень шума, XY***
(СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками |
0.2 нм (типично),
0.3 нм (XY 100 мкм) |
0.1 нм (типично),
0.2 нм (XY 50 мкм) |
Без датчиков |
0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм) |
0.01 нм (XY 50 мкм), |
Ошибка измерения линейных размеров
(с датчиками) |
±0.5% |
±1.2% |
Система видео- наблюдения |
Оптическое разрешение |
1 мкм
(0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
3 мкм |
Поле зрения |
4.5-0.4 мм |
2.0-0.4 мм |
Непре- рывный зум |
возможно |
возможно |
Вибро- изоляция |
Активная |
0.7-1000 Гц |
Пассивная |
выше 1 кГц |
* Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
*** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.
**** По требованию заказчика возможно дополнительно установить оптическую систему с высоким разрешением.