ИНТЕГРА (NTEGRA) – модульный СЗМ комплекс. НТ-МДТ СИ - АСМ-зонды, Сканирующие зондовые микроскопы (АСМ, HybriD Mode, СТМ, СЗМ, СБОМ, Раман)

ИНТЕГРА

Создана для решения широкого спектра задач в области атомно-силовой микроскопии (АСМ), предусматривает возможность изучения физических и химических свойства поверхности образца с большой точностью и высоким разрешением. Управляющая электроника нового поколения позволяет работать с высокой скоростью сканирования.
Скачать брошюру (5,66 Mb)

Основная информация

ИНТЕГРА – НаноЛаборатория, поддерживающая все основные методики АСМ и СТМ. Может быть сконфигурирована для проведения узкоспециализированных исследований.

  • 40 измерительных методик
  • Емкостные датчики перемещения с низким уровнем собственного шума
  • Высокое качество изображений
  • Исследования со скоростью вплоть до 40 Гц
  • Проведение измерений на воздухе, в контролируемой атмосфере, в жидкости

Применения

НаноЛабораторя ИНТЕГРА помогает решить широкий спектр задач. Области применения ИНТЕГРА охватывают практически все направления современной науки и техники:

  • Биология
  • Нанобиотехнология
  • Материаловедение
  • Магнитные Материалы
  • Наноматериалы и наноструктуры
  • Полупроводники
  • Полимеры
  • Органические Пленки
  • Запоминающие среды
  • Нанообработка

Моноатомные ступени на кремнии (111).
Высота ступени 0,31 нм.
Размер скана 7x7 мкм.

АСМ изображение кратера со стороной 5 мкм.

Тестовая решетка. Частота сканирования 40 Гц. Размер скана 17 мкм/256 строк.

Спецификация

СЗМ методы

На воздухе и в жидкости:

АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая)

Только на воздухе:

СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Силовая, Токовая), СТМ/

Технические характеристики

Тип сканирования
Сканирование образцом Сканирование зондом*
Размер образца До 40 мм в диаметре, 
до 15 мм в высоту
До 100 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту
Вес образца До 100 г До 300 г
XY позиционирование образца 5x5 мм
Разрешение позиционирования разрешение - 5 мкм
минимальное перемещение - 2 мкм
Поле сканирования 100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм
не более 1x1x1 мкм
100x100x10 мкм
50x50x5 мкм
До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM)
Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи)
0.1% 0.15%
Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц)
С датчиками 0.04 нм (типично),
0.06 нм
0.06 нм (типично),
0.07 нм
Без датчиков 0.03 нм 0.05 нм
Уровень шума, XY***
(СКВ в полосе 200 Гц)
С датчиками 0.2 нм (типично),
0.3 нм (XY 100 мкм)
0.1 нм (типично),
0.2 нм (XY 50 мкм)
Без датчиков 0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм)
0.01 нм (XY 50 мкм),
Ошибка измерения линейных размеров
(с датчиками)
± 0.5% ± 1.2%
Система видеонаблюдения Оптическое разрешение 1 мкм
(0.4 мкм по требованию, NA 0.7)****
3 мкм
Поле зрения 4.5-0.4 мм 2.0-0.4 мм
Непрерывный зум возможно возможно
Виброизоляция Активная  0.7-1000 Гц
Пассивная выше 1 кГц

* Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
*** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.
**** По требованию заказчика возможно дополнительно установить оптическую систему с высоким разрешением.

Свяжитесь с нами

Заполните форму для запроса дополнительной информации

Узнать больше