ИНТЕГРА – НаноЛаборатория, поддерживающая все основные методики АСМ и СТМ. Может быть сконфигурирована для проведения узкоспециализированных исследований.
НаноЛабораторя ИНТЕГРА помогает решить широкий спектр задач. Области применения ИНТЕГРА охватывают практически все направления современной науки и техники:
Моноатомные ступени на кремнии (111).
Высота ступени 0,31 нм.
Размер скана 7x7 мкм.
АСМ изображение кратера со стороной 5 мкм.
Тестовая решетка. Частота сканирования 40 Гц. Размер скана 17 мкм/256 строк.
АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая)
СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Силовая, Токовая), СТМ/
|
Тип сканирования
|
Сканирование образцом | Сканирование зондом* | |
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
До 100 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | До 300 г | |
| XY позиционирование образца | 5x5 мм | ||
| Разрешение позиционирования | разрешение - 5 мкм минимальное перемещение - 2 мкм |
||
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
100x100x10 мкм 50x50x5 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) | |||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
 0.1% |
0.15% |
|
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
0.06 нм (типично), 0.07 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | 0.05 нм | |
| Уровень шума, XY*** (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
0.1 нм (типично), 0.2 нм (XY 50 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
0.01 нм (XY 50 мкм), | |
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
± 0.5% | ± 1.2% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
3 мкм |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | 2.0-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц | |
| Пассивная | выше 1 кГц | ||
* Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
*** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.
**** По требованию заказчика возможно дополнительно установить оптическую систему с высоким разрешением.
