АСМ нанолитография

АСМ нанолитография проводилась методом локального анодного окисления сверхтонкой пленки титана на кремниевой подложке. Использовался прибор NTEGRA Aura с DCP11 зондом.

Изображение получено С. Краснобородько, НТ-МДТ.


valentino_n
valentino_n
АСМ нанолитография

АСМ нанолитография проводилась методом локального анодного окисления сверхтонкой пленки титана на кремниевой подложке. Использовался прибор NTEGRA Aura с DCP11 зондом.

Изображение получено С. Краснобородько, НТ-МДТ.


size: 1.6x2.0 um
SPM principle: AFM Oxidation Lithography
Остались вопросы? Позвоните нам по телефону: +7-499-110-2050
или заполните форму обратной связи, и мы ответим на все интересующие Вас вопросы.