"Вольтовая" литография

АСМ нанолитография проводилась методом локального анодного окисления сверхтонкой пленки титана на кремниевой подложке.

Изображение представлено С. Краснобородько, НТ-МДТ.


valentino_n300
valentino_n300
АСМ нанолитография
Изображение получено с использованием СЗМ NTEGRA Aura с DCP11 зондом.
size: 1.6x2.0 мкм
SPM principle: AFM Oxidation Lithography
Остались вопросы? Позвоните нам по телефону: +7-499-110-2050
или заполните форму обратной связи, и мы ответим на все интересующие Вас вопросы.