"Вольтовая" литография

АСМ нанолитография проводилась методом локального анодного окисления сверхтонкой пленки титана на кремниевой подложке.

АСМ нанолитография

Изображение получено с использованием СЗМ NTEGRA Aura с DCP11 зондом.
size: 1.6x2.0 мкм
SPM principle: AFM Oxidation Lithography

Остались вопросы? Позвоните нам по телефону: +7-499-110-2050

или заполните форму обратной связи, и мы ответим на все интересующие Вас вопросы.

Спросить эксперта