Литографии
Изначально “Литография” – это печатная техника, в которой осуществляется перенос изображения с плоской формы на плоскую поверхность (бумагу).
С развитием полупроводниковой электроники «Литографией» стали называть технику формирования рисунка микросхем на поверхности полупроводников.
С уменьшением размера элементов микросхем менее 0,1 мкм методы формирования соответствующих «наноструктур» стали более изощренными. Получили развитие ультрафиолетовая, рентгеновская, электронно-лучевая и ионно-лучевая литографии.
С развитием полупроводниковой электроники «Литографией» стали называть технику формирования рисунка микросхем на поверхности полупроводников.
С уменьшением размера элементов микросхем менее 0,1 мкм методы формирования соответствующих «наноструктур» стали более изощренными. Получили развитие ультрафиолетовая, рентгеновская, электронно-лучевая и ионно-лучевая литографии.
С появлением сканирующей зондовой микроскопии появилась возможность воздействовать на поверхность подложек с разрешением вплоть да атомных размеров. С помощью СТМ были осуществлены манипуляции отдельными атомами.
Были продемонстрированы также возможности формирования рисунка путем прямых механических воздействий кончика зонда на поверхность подложки, воздействий токовыми импульсами, полевым испарением материала зонда. С помощью анодно-окислительной литографии были изготовлены наноэлектронные элементы.
Были продемонстрированы также возможности формирования рисунка путем прямых механических воздействий кончика зонда на поверхность подложки, воздействий токовыми импульсами, полевым испарением материала зонда. С помощью анодно-окислительной литографии были изготовлены наноэлектронные элементы.