2.2.4.3 Приложения

1.  Параболический или сферический зонд.

Модель применима для зондов со сферически закругленным острием при малых расстояниях до поверхности образца . Такой же результат получается в общем случае для параболического зонда.

(1)

В АСМ-условиях для кремниевого зонда и образца при , , : .


2.  Конический зонд.

Модель применима в том случае, когда масштабом закругления острия зонда по сравнению с расстоянием до образца можно пренебречь ().

(2)

В АСМ-условиях для кремниевого зонда и образца при , , : .


3.  Пирамидальный зонд.

Модель применима в том случае, когда масштабом закругления острия зонда по сравнению с расстоянием до образца можно пренебречь ().

(3)

В АСМ-условиях для кремниевого зонда и образца при , , : .


4.  Конический зонд с закругленным острием.

Модель является обобщением (1) и (2) при произвольном соотношении масштабов и .

(4)

где . При (полусферический зонд) формула (4) переходит в формулу (1), а при (конусообразный зонд) – в формулу (2).

В АСМ-условиях для кремниевого зонда и образца при , , : .