Новые АСМ зонды серии ETALON с CoFe покрытием для МСМ сверхвысокого разрешения

НТ-МДТ рада представить в своем ассортименте новые ETALON АСМ зонды с CoFe покрытием для получения изображений высокого разрешения по методу магнитно-силовой микроскопии (http://www.ntmdt-tips.com/products/group/magnetic). Эти зонды объединяют в себе все преимущества серии ETALON и имеют специальный магнитный слой на острие. В числе их плюсов можно отметить:.

• Резонансная частота и силовая постоянная определяются при изготовлении с высокой точностью (10% и 20% соответственно);
• Наличие двух кантилеверов на одном чипе;
• Особая геометрия кантилевера для удобной эксплуатации;
• Низкий угол раствора конуса зонда;
• Специальное покрытие для усиления отраженного сигнала лазера системы детектирования;
• Острый зонд с высокочувствительным магнитным покрытием (радиус кривизны < 30 нм).

Новый тип магнитного покрытия  допускает уменьшение радиуса закругления острия до 30 нм. Вместе с высокой чувствительностью его магнитных доменов это делает ETALON CoFe зонды идеально подходящими для визуализации MFM контраста с высоким разрешением.

Чтобы продемонстрировать превосходные характеристики CoFe зондов, наши исследователи недавно проводили измерения по методу амплитудной модуляции (AC-MFM)  в режиме магнитно-силовой микроскопии современного HDD высокой плотности. Исходя из ожидаемого размера одного домена, было оценено латеральное разрешение магнитных изображений. Оно составило, по меньшей мере, 30 нм. Ниже представлены полученные сканированные изображения и сечения, используемые для оценки разрешения.

Стоит отметить, что такие детальные изображения позволяют распознать сектора различной функциональности на исследуемом жестком диске (что отражено на подписях к картинкам).

AC-MFM образ сектора сервопривода. Жесткий диск высокой плотности Размер сканирования: 10 × 10 мкм2 (5 nm шаг) Размер сечения: 2,5 µm

AC-МСМ изображение сектора данных пользователя. Жесткий диск высокой плотности Размер сканирования: 8 × 8 мкм2 (с 5 nm шаг) Размер сечения: 2,5 µm (сечение начальной зоны записи)

Еще одна особенность наших новых магнитных зондов HA-серии – это повторяемые геометрические параметры кантилевера. В приведенной ниже таблице сравниваются ETALON поликремниевые зонды и другие стандартные зонды, изготовленные из кремния.

Мы считаем, что стабильность и хороший контраст MFM, показанные во время тестовых измерений зондами, покрытыми CoFe, делают их перспективными для дальнейших исследований в различных высокоточных областях.