Технология RapidScan™ представляет собой комбинацию механического дизайна и высококачественных цифровых электронных решений, которые позволяют на порядок ускорить АСМ, сохраняя 90 мкм XY диапазон сканирования. RapidScan сканер оснащен высокоточными емкостными датчиками с обратной связью по всем трем осям
90×90×0,5 мкм Изображения коллагеновых волокон, полученные при скоростях сканирования 1 и 10 Гц
Активное подавление резонанса, примененное посредством цифровой IIR фильтрации 4-го порядка позволяет использовать 90 мкм сканер при скоростях до 50 Гц без бокового звона
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещений (XY/Z), мкм | 90×90×4 ±10% |
| Датчики обратной связи (XYZ) | Емкостные |
| Размер образца, ⌀ mm | 15 |
| Уровень шума по Z, пм | 30 |
| XY шум (Замкнутая ОС), нм | 0,1 |
| Нелинейность, % | 0,1 |
| Резонансная частота (XY/Z), кГц | 0,8/12 |
| Активное подавление резонанса | Автоматически настраивамый цифровой режекторный фильтр 4-го порядка с бесконечной импульсной характеристикой |
