Технология RapidScan™ представляет собой комбинацию механического дизайна и высококачественных цифровых электронных решений, которые позволяют на порядок ускорить АСМ, сохраняя 90 мкм XY диапазон сканирования. RapidScan сканер оснащен высокоточными емкостными датчиками с обратной связью по всем трем осям
Спросить эксперта