Отображение сопротивления растекания

Отображение Сопротивления Растекания возможно при использовании проводящего зонда ССМ, находящегося в контакте с поверхностью образца [1].

К зонду прикладывается напряжение смещение и проводятся измерения результирующего тока через образец в зависимости от положения зонда одновременно с получением данных о рельефе по Методу Постоянной Силы.

Как легко показать в предположении постоянного контактного сопротивления зонд-поверхность при заданном смещении величина измеряемого тока пропорциональна локальному сопротивлению исследуемого образца.

Отображение Сопротивления Растекания может быть также использовано и при анализе сложных структур, таких, например, как интегральные схемы.

Обзор современного состояния метода Отображение Сопротивления Растекания представлен в [2].

Ссылки

  1. US Pat. 4992728.
  2. J. Vac. Sci. Techn. B, 20 (1), 471 (2002).