Отображение сопротивления растекания
Отображение Сопротивления Растекания возможно при использовании проводящего зонда ССМ, находящегося в контакте с поверхностью образца [1].
К зонду прикладывается напряжение смещение и проводятся измерения результирующего тока через образец в зависимости от положения зонда одновременно с получением данных о рельефе по Методу Постоянной Силы.
Как легко показать в предположении постоянного контактного сопротивления зонд-поверхность при заданном смещении величина измеряемого тока пропорциональна локальному сопротивлению исследуемого образца.
Отображение Сопротивления Растекания может быть также использовано и при анализе сложных структур, таких, например, как интегральные схемы.
Обзор современного состояния метода Отображение Сопротивления Растекания представлен в [2].
Ссылки
- US Pat. 4992728.
- J. Vac. Sci. Techn. B, 20 (1), 471 (2002).