ЭСМ

В общем случае Электростатическая Силовая Микроскопия (ЭСМ) может быть использована в нескольких вариантах, в зависимости от типа исследуемого образца и вида необходимой информации.

Наиболее распространена из них Бесконтактная ЭСМ, основанная на двухпроходной методике. На втором проходе кантилевер приводится в колебательное состояние на резонансной частоте, при этом кантилевер заземлен или находится при постоянном смещении V.

Емкостная сила взаимодействия зонд-образец (или скорее ее производная) приводит к сдвигу резонансной частоты. Соответственно амплитуда колебаний кантилевера уменьшается и фаза его колебаний сдвигается [1]. При этом и амплитуда и фаза колебаний могут быть измерены и использованы для отображения распределение электрического потенциала по поверхности образца.

Этот метод ССМ обладает определенными преимуществами по сравнению с Методом Зонда Кельвина (МЗК). Отображение отклонений амплитуды или фазы определяются емкостной зонд-образец силовой производной, т.е. второй производной емкости зонд-образец. В результате Бесконтактная ЭСМ приводит к более высокому разрешению поскольку отношение паразитной емкости конуса зонда и плоской части кантилевера к полезной емкости кончик зонда-образец минимизируется [2,3].

Ссылки

  1. J. Appl. Phys. 61, 4723 (1987).
  2. Appl. Phys. Lett. 52, 1103 (1988).
  3. Nanotechnology 12, 485 (2001).